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JPTD　磁控鍍膜系列

作者：甘肅真空設備有限公司時間：2022-09-22點擊：1679次

圖片28.jpg      a747d43834da99783de24bb059c2eef.jpg


  ※　系列產品參數

型號項目

JPTD-1000L

JPTD-1000LA

JPTD-1000LC

  極限真空度　　　Pa

5.0×10-3（清潔、干燥、空載）

  恢復真空時間　　Pa

18（從大氣～10-2Pa）

  基材

PET、PVC、PE等

  有效鍍幅　　　　mm

500

650

800

  最大卷徑　　　　mm

Φ300

  鍍膜速度　　　m/min

ITO靶0.5～1.5m/min 其它靶 5m/min(max)

  磁控靶數目 　 　只

5

6

8

  靶材　　　　

銦錫合金（黃銅、紫銅、鎳、鈦等選用）

  濺射壓力　　　　Pa

1～0.1

  濺射電壓　　　　V

300～600（D.C）

  工作氣體

Ar、 O2純度99.99%

  最大需用功率　　KVA

52

55

78

  冷卻水量　　　　t/h

5　　　?。ㄈ肟趬毫?.15～0.2MPa，進水溫度25℃以下）

  占地面積 　　　 　mm

6850×5020×2600

7000×5020×2600

7250×5020×2600