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ZZD電阻蒸發(fā)鍍膜系列

作者:甘肅真空設(shè)備有限公司時(shí)間:2022-09-22點(diǎn)擊:1901次

※ 系列產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào)項(xiàng)目

ZZD-1000

ZZD-1400

ZZD-1600

ZZD-2050

  真空室規(guī)格   mm

Φ1000×1500

Φ1400×1900

Φ1600×2100

Φ2050×2900

  極限壓力    Pa

1×10-3

  工作壓力    Pa

2×10-2

  恢復(fù)真空時(shí)間  min

≤10 (從大氣至2×10-2Pa)

  壓升率     Pa/h

≤0.3

  離子轟擊源   KVA

4

4

12

20

  蒸發(fā)源Ⅰ    KVA

15

20

25

40

  蒸發(fā)源Ⅱ    KVA

15

20

27/18

45

  蒸鍍材料

Al和SiO2/MgO2

  工件轉(zhuǎn)動(dòng)方式

公轉(zhuǎn)加自轉(zhuǎn)(無(wú)級(jí)調(diào)速)

  工件自轉(zhuǎn)軸數(shù)

6

10

  控制方式

PLC

PLC/PLC+計(jì)算機(jī)

  冷卻水量    m3/h

5

5

7

9

  總功率   KW     

~60

~85

~120

~200


型號(hào)項(xiàng)目

ZZD-1000

ZZD-1400

ZZD-1600

ZZD-2050

  真空室規(guī)格   mm

Φ1000×1500

Φ1400×1900

Φ1600×2100

Φ2050×2900

  極限壓力    Pa

1×10-3

  工作壓力    Pa

2×10-2

  恢復(fù)真空時(shí)間  min

≤10 (從大氣至2×10-2Pa)

  壓升率     Pa/h

≤0.3

  離子轟擊源   KVA

4

4

12

20

  蒸發(fā)源Ⅰ    KVA

15

20

25

40

  蒸發(fā)源Ⅱ    KVA

15

20

27/18

45

  蒸鍍材料

Al和SiO2/MgO2

  工件轉(zhuǎn)動(dòng)方式

公轉(zhuǎn)加自轉(zhuǎn)(無(wú)級(jí)調(diào)速)

  工件自轉(zhuǎn)軸數(shù)

6

10

  控制方式

PLC

PLC/PLC+計(jì)算機(jī)

  冷卻水量    m3/h

5

5

7

9

  總功率   KW     

~60

~85

~120

~200